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本实用新型公开了一种用于化学气相沉积反应的源瓶，其包括上盖、瓶身和加热带；所述上盖和所述瓶身密封连接，所述瓶身的外表面设置有加热带；所述瓶身内用于盛放反应源，所述瓶身和所述上盖中的至少一者上设置有伸入所述反应源的热交换结构，所述热交换结构未...
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