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本发明公开的双边错位差动共焦超长焦距测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾丽斑图像上通过软件设置大、小虚拟针孔探测区域并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，然后将锐化共焦特性曲...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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