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本发明涉及到一种反射式横向相减差动共焦焦距测量方法，属于光学精密测量技术领域。该方法将差动共焦探测器中焦前焦后两路探测器探测到的光斑分别采用不同大小虚拟针孔进行横向相减得到锐化后的横向相减共焦响应曲线，将两路横向相减共焦响应曲线差动相减后得...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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