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本发明涉及反射式双边错位差动共焦焦距测量方法，属于光学精密测量技术领域。该方法通过大、小虚拟针孔共焦特性曲线的横向相减处理来锐化共焦响应特性曲线，通过锐化共焦响应特性曲线的双边错位差动相减处理来实现被测表面的差动共焦双极性定焦测量，通过差动...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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