下载流量控制用二通阀及使用该流量控制用二通阀的温度控制装置的技术资料

文档序号:21553889

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本发明提供一种与仅在阀芯开设与流出部整合并打通流路的连通孔而成的切换阀相比能够线性地高精度地控制流体的流量的流量控制用二通阀及使用该流量控制用二通阀的温度控制装置。该流量控制用二通阀具备:阀主体(6),具有由圆柱形状的空腔构成的阀座(8),...
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