下载氧化物薄膜晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:21550779

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本发明提供了一种氧化物薄膜晶体管,包括栅极,结合在所述栅极一表面的绝缘层,在所述绝缘层远离所述栅极表面设置的有源层,在所述有源层远离所述绝缘层的表面两端分别设置互不接触的源极和漏极,其中,所述有源层包括依次结合在所述绝缘层表面的第一有源层和...
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