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一种MEMS麦克风包括具有腔室的基板；被设置在所述基板上方且具有多个声孔的背板；被设置在所述基板和所述背板之间的振膜，所述振膜与所述基板和所述背板间隔开，覆盖所述腔室以在所述振膜和所述背板之间形成气隙且被配置成响应声压产生位移；以及锚固件，...
该专利属于DBHiTek株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过DBHiTek株式会社授权不得商用。

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