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硅微机械泵是一种采用硅微机械加工技术和半导体集成电路工艺制作而成的流体泵，泵体可采用玻璃／硅材料的结构构成，驱动装置采用硅薄膜加热电阻实现，流体输送机械可由微型腔室、自由振动硅膜和喷嘴－－扩散管道式的出口和入口构成，硅薄膜加热电阻位于微型腔...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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