硅微机械泵制造技术

硅微机械泵是一种采用硅微机械加工技术和半导体集成电路工艺制作而成的流体泵，泵体可采用玻璃／硅材料的结构构成，驱动装置采用硅薄膜加热电阻实现，流体输送机械可由微型腔室、自由振动硅膜和喷嘴－－扩散管道式的出口和入口构成，硅薄膜加热电阻位于微型腔室内，采用无可动阀门泵的结构替代通常的出口、入口两个可动单向阀门，具有结构简单、稳定性和可靠性高等特点，可广泛用于临床医学、化工、食品、制药和环境检测等领域。（*该技术在2006年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用作流体泵的硅微机械泵，由泵体、驱动装置和流体输运机构组成，其特征在于驱动装置由加热电阻和驱动电源构成，流体输运机构由微型腔室、自由振动硅膜和喷嘴一扩散管道式的出口和入口形成，加热电阻位于微型腔室内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丁辛芳，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]