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本实用新型涉及冷却设备领域，尤其涉及一种工艺气体的冷却装置。该工艺气体的冷却装置包括壳体和设置于壳体内部的换热芯体，所述壳体设置有工艺气体进、出口，其特征在于：所述换热芯体包括第一换热芯体和第二换热芯体，所述第一换热芯体设于靠近所述工艺气体...
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