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本发明公开了公开了一种MOCVD制程氢氮混合尾气石墨烯分离提纯再利用的方法，通过包括预处理、精制除杂与石墨烯膜分离的主要步骤。其将来自MOCVD制程的氢氮混合尾气进行氢气与氮气的分离并提纯至符合MOCVD制程所需的电子级氢气与电子级氮气标准...
该专利属于汪兰海所有，仅供学习研究参考，未经过汪兰海授权不得商用。

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