温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种foup盒内真空氮气填充系统及foup盒排空气法。本发明提供的foup盒内真空氮气填充系统包括2条或2条以上基板进气通道；吹气置块，所述吹气置块与foup盒所在的基板固定连接，所述吹气置块的一面设有2个或2个以上吹气置块进气...
该专利属于沈阳新松机器人自动化股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳新松机器人自动化股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。