【技术实现步骤摘要】
一种foup盒内真空氮气填充系统及foup盒排空气法
本专利技术属于自动化真空洁净设备，尤其涉及一种foup盒内真空氮气填充系统及foup盒排空气法。
技术介绍
伴随着工业化的快速发展，应用于信息产业的硅片加工技术越来越重要，硅片的搬运、取放的洁净度和自动程度要求很高。Foup盒是用于硅片承载的最基本容器，保证foup盒真空内硅片在进入硅片加工设备之前的洁净度是硅片加工的技术难点，foup盒开启前填充氮气是保证foup盒洁净度的一种解决方法，但原有的氮气填充气路无法将foup盒内空气排干净，氮气填充不充分，影响硅片加工。现有技术中公开有一种晶圆存储柜的氮气填充装置，包括晶圆存储柜以及晶圆传送盒，晶圆传送盒上设有氮气进气口以及空气排出口；晶圆存储柜上设有的进气管道以及排气管道，进气管道的一端与氮气进气口连通，其另一端与氮气源连接，排气管道的一端与空气排出口连通，其另一端与回收容器连接，氮气源与回收容器之间设有用于分离氮气的压缩机；其中，进气管道上设有第一启闭阀，排气管道上设有第二启闭阀。这种晶圆存储柜的氮气填充装置容易在晶圆存储柜内形成乱流，无法充分地填充氮气。现有...
【技术保护点】
1.一种foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，包括：2条或2条以上基板进气通道，所述基板进气通道设置在foup盒所在的基板上，所述基板进气通道的一头与氮气气源相通，用于氮气的传输；吹气置块，所述吹气置块与foup盒所在的基板固定连接，所述吹气置块的一面设有2个或2个以上吹气置块进气孔，所述吹气置块进气孔分别与所述基板进气通道相通，所述吹气置块的内部设有一条通气管道，所述通气管道上设有若干吹气置块吹气孔，所述吹气置块吹气孔与foup盒内相通且所述吹气置块吹气孔的吹气方向与foup盒所在的基板的基板面之间的夹角为40°‑50°；基板排气通道，所述基板排气通道设置在foup盒...
【技术特征摘要】
1.一种foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，包括：2条或2条以上基板进气通道，所述基板进气通道设置在foup盒所在的基板上，所述基板进气通道的一头与氮气气源相通，用于氮气的传输；吹气置块，所述吹气置块与foup盒所在的基板固定连接，所述吹气置块的一面设有2个或2个以上吹气置块进气孔，所述吹气置块进气孔分别与所述基板进气通道相通，所述吹气置块的内部设有一条通气管道，所述通气管道上设有若干吹气置块吹气孔，所述吹气置块吹气孔与foup盒内相通且所述吹气置块吹气孔的吹气方向与foup盒所在的基板的基板面之间的夹角为40°-50°；基板排气通道，所述基板排气通道设置在foup盒所在的基板上，用于foup盒内的空气的排出。2.根据权利要求1所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，所述基板进气通道用于氮气气源接入的一头还连接有氮气充气弯头。3.根据权利要求1所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，所述吹气置块吹气孔与foup盒内相通且所述吹气置块吹气孔的吹气方向与foup盒所在的基板的基板面之间的夹角为45°。4.根据权利要求1所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，还包括浮门封板，填充氮气时，所述foup盒的后盖打开，所述浮门封板和所述foup盒的内部形成一个密封空间；基板上固定有密封盖板，所述密封盖板与所述基板排气通道形成一个开口空间，所述开口空间位于所述密封空间的内部。5.根据权利要求4所述的foup盒内真空氮气填充系统，其特征在于，所述密封盖板上设有排气阀，当foup盒内的空气由基板排气通道排出后进入所述开口空间后，再由所述排气阀排到所述密封空间的外部。6.根据根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：何书龙，华正雨，赵治国，边弘晔，于大元，周昊，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21
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