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本发明提供了一种微型柔性机器人、系统及制作方法，该微型柔性机器人包括：驱动层、位于驱动层上的上结构层、位于驱动层下的下结构层，其中，驱动层包括驱动薄膜，位于驱动薄膜上侧的上金属层和位于驱动薄膜下侧的下金属层；上结构层包括上层腿部和具有镂空结...
该专利属于清华大学深圳研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学深圳研究生院授权不得商用。

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