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一种硅微热致动泵，属液体变容式机械领域。本微型泵利用双金属热致动原理工作，由两片硅薄膜片组成在硅薄膜上蚀刻有泵腔，流体沟道和单向阀，并有由单晶硅薄膜，铝膜组成的双金属层，在单晶硅薄膜和铝膜之间有加热元件。本微型泵由于采用了双金属层热致动方式...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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