温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在将真空排气装置本体１与冷冻循环３连在一起的管路２内，从真空排气装置本体１的一侧顺序连接了通气阀４、自动断路阀５、连通器６ａ、６ｂ，在连通器６ａ、６ｂ与自动断路阀５间的管路２ａ处连接了从净化气体源Ｇ导入净化气体的净化气供给管路８，在其上设置...
该专利属于日本真空技术株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本真空技术株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。