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复制模具形成用树脂组合物、复制模具、以及使用了该复制模具的图案形成方法技术
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文档序号:21519201
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本发明提供一种能够容易除去残膜,并能够形成可以形成高精度图案的压印用复制模具的树脂组合物。本发明的复制模具形成用树脂组合物在200~450nm中至少一个波长处的光透射率为50%以上,并且含有热塑性或热固性树脂(A)与具有吸收上述波长的光线或...
该专利属于株式会社大赛璐所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大赛璐授权不得商用。
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