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本发明公开的激光差动共焦原子力核聚变靶丸表面轮廓测量方法与装置，属于共焦显微成像、原子力显微成像及激光惯性约束核聚变技术领域。本发明将激光差动共焦技术与原子力探针扫描探测技术结合，利用激光差动共焦技术对激光聚变靶丸表面和球心位置进行精密定焦...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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