温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种生长石墨烯的立式管式炉和挂架。所述立式管式炉包括:炉体,所述炉体内设置有工艺舱;过渡舱,其设置在所述炉体的上方或下方,所述过渡舱构造成与所述工艺舱可连通和可关断;挂架,设置在所述工艺舱中,用于放置生长衬底;和移动装置,可将所述...该专利属于无锡格菲电子薄膜科技有限公司;无锡第六元素电子薄膜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡格菲电子薄膜科技有限公司;无锡第六元素电子薄膜科技有限公司授权不得商用。