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本发明提供的是一种双向无阀微泵。它包括泵体和泵盖，在泵体上开有泵腔、流体进、出口沟道等结构图形，泵盖上开有进口和出口，泵体与泵盖键合在一起，键合后在泵体与泵盖之间形成薄壁孔口与厚壁孔口，泵腔外安装压电驱动元件。本发明产品的优点在于：微泵体积...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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