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本发明的一个实施方式的激光照射装置具备：光源，其产生激光；投影透镜，其向分别粘附于玻璃基板上的多个薄膜晶体管的非晶硅薄膜的规定区域照射该激光；及投影掩模图案，其设置在该投影透镜上，包含设定有该激光透过的比例即透射率的多个掩模，该投影透镜对于...
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