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本发明公开了一种大行程位移驱动装置，包括载物台、一级位移放大机构和二级位移机构；一级位移放大机构包括丝杠、与丝杠螺纹连接的移动支撑板和用于驱动丝杠转动以带动移动支撑板沿载物台的轴向直线移动的扭矩输出装置；二级位移机构包括多个压电陶瓷驱动器，...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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