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本发明公开一种用于硅环腐蚀的装置及方法。装置包括腐蚀液槽、悬架、载片架、电动机、加热器；悬架具有两个悬臂并通过悬臂把手被支撑在腐蚀液槽上；两个悬臂的下部置于腐蚀液槽内，其下端分别具有挂钩；载片架具有三根连杆和两个圆盘，三根连杆的两端分别连接...
该专利属于有研半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过有研半导体材料有限公司授权不得商用。

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