下载基底位置调整装置以及基底边缘减薄装置的技术资料

文档序号:21465923

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本实用新型提供了一种基底位置调整装置以及基底边缘减薄装置,基底位置调整装置包括:支撑单元、第一导轨、第二导轨、第一驱动机构、第二驱动机构、位置获取单元以及控制器,第一导轨和第二导轨交叉连接,支撑单元位于第一导轨和第二导轨上方并用于支撑一基底...
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