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本实用新型属于HIT电池ITO导电薄膜清洗技术领域,本实用新型公开了一种清洗沉积在掩膜盖板表面的ITO薄膜的装置,包括酸洗腔室、喷淋腔室和风淋烘干腔室;风淋烘干腔室包括风淋腔室和烘干腔室;酸洗腔室、喷淋腔室、风淋腔室和烘干腔室依次连接;酸洗...该专利属于成都东腾薄膜太阳能有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都东腾薄膜太阳能有限公司授权不得商用。
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本实用新型属于HIT电池ITO导电薄膜清洗技术领域,本实用新型公开了一种清洗沉积在掩膜盖板表面的ITO薄膜的装置,包括酸洗腔室、喷淋腔室和风淋烘干腔室;风淋烘干腔室包括风淋腔室和烘干腔室;酸洗腔室、喷淋腔室、风淋腔室和烘干腔室依次连接;酸洗...