下载一种电容式的三轴振动台定位装置的技术资料

文档序号:21451867

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本发明涉及一种电容式的三轴振动台定位装置,包括空气弹簧、振子、振子支撑架、底座、水平滑台底座、水平工作台、水平滑台连接座、转动电极轴、上电容极板、下电容极板和底座内壁电容极板,水平滑台底座设于底座上,水平工作台设于水平滑台底座上,水平滑台连...
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