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本发明涉及一种诊断射频等离子体模式转变的方法，包括一等离子体和一增强电荷耦合器件相机，包括以下步骤：步骤S1、所述等离子体根据一脉冲调制信号在一工作模式下进行放电；步骤S2、所述增强电荷耦合器件相机在一脉冲触发信号的作用下触发快门，并拍摄所...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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