下载一种双光子聚合有机硅光刻胶组合物及其固化方法的技术资料

文档序号:21430643

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本发明提供了一种双光子聚合有机硅光刻胶组合物,由以下原料制备得到:100重量份的有机‑无机杂化光敏有机硅树脂;0.05~5重量份的光引发剂;0~15重量份的稀释剂。本申请还提供了一种双光子聚合有机硅光刻胶组合物的固化方法。本发明提供的光刻胶...
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