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本实用新型公开了一种硅烷燃烧装置，包括水池、支架、内筒、外筒和第一喷淋管；内筒和外筒均安装在支架上，外筒罩住内筒，外筒和内筒均下端敞口；外筒和内筒均位于水池的池水之上，外筒和内筒的敞口均高于池水的水面；内筒的表面设置有连通孔使得内筒的内腔与...
该专利属于江苏宏仁特种气体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宏仁特种气体有限公司授权不得商用。

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