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排气式矩形工作台制造技术
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文档序号:21418234
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本实用新型公开了一种排气式矩形工作台,包括工作台本体,所述工作台本体的横截面呈矩形状,工作台本体中开有若干第一轴向排气槽及第二轴向排气槽,第一轴向排气槽与第二轴向排气槽相互垂直交叉,工作台本体上开有一排气孔及多个放电通气孔,排气孔、多个放电...
该专利属于东莞市译码半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市译码半导体有限公司授权不得商用。
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