下载用于地质过程化学溶蚀研究的微流控芯片及制作方法的技术资料

文档序号:21383224

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本发明公开了一种用于地质过程化学溶蚀研究的微流控芯片及制作方法。包括如下步骤:制备微流控芯片主体,上中下基层通道刻蚀以及上中下基层与微流控芯片主体的键合与封装,最终得到适用于地质过程化学溶蚀研究目的的微流体芯片。微流控芯片主体的材料可为氯化...
该专利属于武汉大学;贵州省水利水电勘测设计研究院所有,仅供学习研究参考,未经过武汉大学;贵州省水利水电勘测设计研究院授权不得商用。

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