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本发明涉及一种AFM轻敲模式下表征成像质量的方法，其利用幅值误差表征AFM在轻敲模式下扫描样品表面时成像质量的高低。其主要包括以下步骤：利用AFM扫描样品表面获取幅值误差图，导出幅值误差值；针对周期性台阶表面通过公式计算得到幅值误差平均值；...
该专利属于燕山大学所有，仅供学习研究参考，未经过燕山大学授权不得商用。

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