专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
长春理工大学
>
利用共聚焦激光扫描显微系统对微纳米级介质波导或台阶型结构侧壁角的无损测量方法技术方案
>技术资料下载
下载利用共聚焦激光扫描显微系统对微纳米级介质波导或台阶型结构侧壁角的无损测量方法的技术资料
文档序号:21375379
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
利用共聚焦激光扫描显微系统对微纳米级介质波导及台阶型结构进行快速无损检测的方法涉及精密加工与测试领域。该方法包括设计了一种共聚焦激光扫描显微系统,在探测器前设置可调针孔光阑;设计了扫描范围可达100微米控制精度可达10纳米的激光扫描器和物距...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。