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激光装置以及激光加工系统制造方法及图纸
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文档序号:21375195
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激光装置具备:A、固态激光装置,其输出包括多个脉冲的突发种子脉冲光;B、准分子放大器,其在放电空间中,利用一次放电对突发种子脉冲光进行放大,作为放大突发脉冲光输出;C、能量传感器,其计测放大突发脉冲光的能量;以及D、激光控制部,其基于从所述...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。
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