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提供了一种通过中心孔与静电晶片吸盘和静电环吸盘一起使用的边缘环，所述静电环吸盘具有冷却槽和环夹持电极以及用以调节所述边缘环的温度的至少一个环背面温度通道。所述边缘环包括：边缘环体，其放置在具有环夹持电极的所述静电环吸盘上，其中所述边缘环体包...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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