温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种掩模室，掩模室限定适于在掩模储存部(14)中储存至少两个掩模(22)的封闭内部(12)，掩模室包括入口(16)，净化气体能够通过入口进入封闭内部(12)，和出口(18)，净化气体能够通过出口离开封闭内部，其中，掩模室还包括布置...该专利属于布鲁克斯自动化(德国)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过布鲁克斯自动化(德国)有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种掩模室，掩模室限定适于在掩模储存部(14)中储存至少两个掩模(22)的封闭内部(12)，掩模室包括入口(16)，净化气体能够通过入口进入封闭内部(12)，和出口(18)，净化气体能够通过出口离开封闭内部，其中，掩模室还包括布置...