下载流体控制装置和使用该流体控制装置的制品制造方法的技术资料

文档序号:21373809

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本发明提供一种在不使流体的供给流量减少的前提下进一步小型化、集成化的流体控制装置。具有基块(10B、10C)和分别设置于基块(10B、10C)的上表面的流体用设备(120、130),基块(10B、10C)分别具有沿着长度方向突出的突出管部(...
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