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本发明提供一种体声波谐振器，包括由下至上依次排列的基底、声学镜结构、下电极、压电薄膜结构、上电极，所述上电极和/或下电极的上表面和/或下表面具有附属结构，所述附属结构在垂直于上电极表面的方向上具有凸起或凹陷。...
该专利属于天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司授权不得商用。

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