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本发明提供一种具有掺杂隔离结构的体声波谐振器，包括基底，嵌入基底的声学镜，位于基底和声学镜之上的下电极，位于下电极之上的压电层，以及位于压电层之上的上电极，上电极、压电层、下电极与声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠部分形成有效区域，其中，压电...
该专利属于天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司授权不得商用。

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