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电泵浦深紫外AlGaN半导体激光器及其制备方法涉及半导体激光器制造技术领域,解决了无法实现更短发光波长的问题,包括从下至上依次设置的衬底、AlN缓冲层、n型AlGaN限制层、n型AlGaN波导层、AlGaN有源层、p型AlGaN波导层、p面...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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