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一种周期性调控二氧化钒薄膜相变性质的方法技术
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文档序号:21367373
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本发明公开了一种周期性调控二氧化钒薄膜相变性质的方法,选取m切面蓝宝石制备基底样品,将上述基底样品进行高温退火处理使蓝宝石晶体表面产生重构,制备具有不同切面的基底样品,采用薄膜外延生长方法,选取多晶三氧化二钒靶材为原料,在具有不同切面的蓝宝...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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