下载一种激光剥离结构的技术资料

文档序号:21366116

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本发明涉及一种激光剥离结构,它包括蓝宝石衬底、图形化结构、外延片、衬底转移缓冲层、目标基板、目标基板浸润层、目标基板图形化结构、目标基板缓冲层、激光剥离室、主剥离激光器、辅助剥离激光器,蓝宝石衬底和目标基板安装在激光剥离室内,蓝宝石衬底和目...
该专利属于南通中铁华宇电气有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南通中铁华宇电气有限公司授权不得商用。

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