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本实用新型涉及半导体制备领域，针对光刻胶结晶的问题，提供了一种光刻胶喷涂装置，该技术方案如下：包括基座、工作台、主支架，主支架上设有喷头，基座上设有储液瓶，喷头包括与储液瓶连通的储液管，储液管一端朝向工作台，储液管朝向工作台的端部连接有覆盖...
该专利属于深圳市致行科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市致行科技有限公司授权不得商用。

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