下载涂胶设备及涂胶方法的技术资料

文档序号:21342130

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本申请公开了一种涂胶设备及涂胶方法,涂胶设备,包括基板放置区,所述基板放置区用于放置待涂胶基板,所述基板放置区上方设有可移动喷头,所述喷头用于喷涂光刻胶,所述基板放置区下方设有多个激光器。根据本申请实施例提供的技术方案,通过在涂胶设备中增加...
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