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本发明涉及一种半导体工具和形成半导体装置组合件的方法。所述半导体工具为接合接头，其具有真空端口和多个清洗端口，其中通道将所述真空端口与所述清洗端口耦合。可通过所述真空端口抽出空气以在所述接合接头的底部上产生真空以将半导体装置与所述接合接头选...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

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