下载用于轴杆的套筒及包括其的半导体晶片旋转冲洗甩干机的技术资料

文档序号:21319084

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本实用新型提供一种用于轴杆的套筒,特别适于安装在半导体晶片旋转冲洗甩干机的轴状档杆上,其包括主体部分,所述主体部分大体上是环形的;突出部,所述突出部附接至所述主体部分,沿着所述主体部分的轴向方向分布且在所述主体部分的周向上延伸弧度α,α为大...
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