温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

该实用新型涉及一种关键尺寸扫描电子显微镜缺陷监测片，用于监测关键尺寸扫描电子显微镜观测以监测关键尺寸扫描电子显微镜的缺陷状况，包括：裸晶圆；光阻条，形成于裸晶圆上表面，光阻条在关键尺寸扫描电子显微镜具有气流缺陷时发生崩塌，用户通过监测光阻条...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。