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本发明提供一种压电声波滤波器，在微组装条件下，实现压电声波滤波器器件的高性能，高一致性。该压电声波滤波器包括载板和位于载板上且由上至下依次设置的上晶圆和下晶圆；上晶圆和下晶圆中分别设置有多个过孔，或者，仅在下晶圆中设置有多个过孔；或者，该压...
该专利属于天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司授权不得商用。

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