下载TFT基板的制作方法及TFT基板的技术资料

文档序号:21304875

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本发明提供一种TFT基板的制作方法及TFT基板。本发明的TFT基板的制作方法,首先在栅电极层上沉积形成石墨烯膜层,再对石墨烯膜层整面进行氟摻杂处理,增大其带隙宽度,使石墨烯膜层变成绝缘体,使其作为栅极阻挡层,以防止栅电极层中金属原子的扩散,...
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