下载半导体结构及其制造方法的技术资料

文档序号:21304760

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本公开实施例涉及半导体结构及其制造方法。本公开提供一种半导体结构,包含提供:金属层;粘着增强层,其在所述金属层上方;介电质堆叠,其在所述粘着增强层上方;接触件,其穿透所述介电质堆叠及所述粘着增强层并与所述金属层连接;阻障层,其放置于所述接触...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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